Kühlwasser-Anlagen

  • Advanced Technology Facilities

Die Anlagenverfügbarkeit wird eine immer wichtigere Eigenschaft der Prozessgeräte unserer Kunden. Eine wichtige Rolle kann dabei die Qualität des Kühlwassers spielen, mit dem die Anlagen in Halbleiterfabriken betrieben werden.

Exyte Technology´s Lösung ist die Separierung der Kühlkreisläufe von Fabrik und Prozessgerät sowie die Verwendung von Reinstwasser im Gerätekreislauf.. Diese Trennung ermöglicht eine verbesserte Kontrolle der Kühlwasserversorgung in Hinsicht auf Temperaturgenauigkeit, Partikelkontamination und Durchflußrate, was die Leistung und Vefügbarkeit von Anlagen erhöht.

Alexander Schopf
Head of Business Unit Controlled Environments

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