Reinstwasserkonditionierung

  • Advanced Technology Facilities

Zur Erzeugung von kleineren Strukturen bei gleicher Wellenlänge muss die optische Dichte des Mediums zwischen Objektiv und Wafer mit Hilfe von Wasser verändert werden. Da die optische Dichte extrem empfindlich auf chemische Verunreinigungen und Temperaturschwankungen reagiert, muss eine herausragende Stabilität des zu verwendenden Reinstwassers erzeugt werden, um eine gleich bleibende Abbildungsqualität zu erzeugen.
Zusammen mit dem Kunden entwickelte Exyte Technology Systeme und Lösungen zur Erzeugung von Reinstwasser und dessen Konditionierung auf ± 0,25 mK genau. Diese Produkte sind die Voraussetzung für den erfolgreichen Einsatz der Immersionstechnologie in der Lithographie.

  • Erzeugung von Reinstwasser
  • Kontrolle der partikulären Verunreinigung
  • Höchst genaue Temperaturkontrolle bei flüssigen Medien

Alexander Schopf
Head of Business Unit Controlled Environments

Phone: +49 711 8804-2079

Mobil: +49 172 8136092

alexander.schopf@exyte.net

Eigenschaften

  • Erzeugung von Reinstwasser
  • Kontrolle der partikulären Verunreinigung
  • Höchst genaue Temperaturkontrolle bei flüssigen Medien