Systemlösung zur Taupunktkontrolle

  • Advanced Technology Facilities

Systemlösung zur Taupunktkontrolle für feuchtigkeitskritische Fertigungsverfahren

Bestimmte Fertigungsprozesse benötigen weitaus mehr als absolute Reinheit und stabile Prozessparameter. Insbesondere bei optischen Anwendungen müssen zusätzliche Störfaktoren wie z.B. Sauerstoff und Wasser aus der Luft eliminiert werden, um optimale Abbildungen zu gewährleisten. Die Verdrängung ungewünschter Gase und Wasser geschieht beispielsweise durch die Einbringung von Stickstoff. Exyte Technology bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Ansprüche bezüglich Reinheit, Temperaturstabilität und Trockenheit.

  • Äußerst trockene Prozessumgebung (- 35 °C)
  • "Sauerstofffreie" Prozessumgebung
  • Stabile und reproduzierbare Prozessklimatisierung

Alexander Schopf
Head of Business Unit Controlled Environments

Phone: +49 711 8804-2079

Mobil: +49 172 8136092

alexander.schopf@exyte.net

Dr. Jens Tschmelak
Head of Business Unit Controlled Environments

Phone: +49 711 8804-2031

Mobil: +49 172 8610911

jens.tschmelak@exyte.net

Konstruktiver Aufbau

Typische Anwendung: feuchtigkeitssensible Produktionsprozesse
Kundenbedarf: sehr trockene und Oxygenfreie Umgebungsbedingungen
Duchflussrate:  3,600 m³/h
Prozesslufttemperatur: 20 °C
Temperaturstabilität: ± 1K
Taupunkt: - 35°C
Feuchtigkeit: 1,3 %r.H.
Restliches Oxygen: < 0,8 %

Eigenschaften

  • Äußerst trockene Prozessumgebung (- 35 °C)
  • "Sauerstofffreie" Prozessumgebung
  • Stabile und reproduzierbare Prozessklimatisierung