Luftqualitätsüberprüfung

  • Reinraumtechnologien & Kontrollierte Umgebungen
Autosampler vom IC Messgerät
Autosampler vom GC_MS Messgerät
Impinger für Reinraum Analysen von ultrareinem Wasser
Impinger Verbindungen…
Reinraumlabor für chemische Analysen
GC_MS Messgerät

Komplexe und spezielle Herstellungsprozesse in der Elektro- und Halbleiterindustrie erfordern eine hohe Reinheit der Raumluft. Chemische Gasphasenverunreinigungen, so genannte molekulare Verunreinigungen (AMC) können auf kritischen Oberflächen einen dünnen chemischen Film bilden.  Strikte Überwachung der Raumluftqualität ermöglicht die Erfüllung der Voraussetzungen für High-Tech-Produktionsumgebungen.

Exyte Technology verfügt über das fachliche Know-how für die Messung, Erkennung und Kontrolle von Luftverschmutzungen. Dadurch können die Kunden ihre Herstellungsprozesse und ihre Produktausbeute verbessern.

Rubén López Trigo
Head of Trace Analysis

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Mobil: +49 152 54749991

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ruben.lopez-trigo@exyte.net

Die Luftkontrolle in neuen Reinräumen und die routinemäßige Überwachung während der Produktionsprozesse sind eine grundlegende Aufgabe in allen Bereichen, die eine Reinraumumgebung für die Produktion erfordern; dazu gehören die Halbleiterindustrie, die optische und Lasertechnologie, die Pharmaindustrie, die medizinische Technologie, Naturwissenschaften und Lebensmittelindustrie.

 Zu unseren Kompetenzen gehören:

  • Luftprobenahme in Innenräumen, Luftaufbereitungseinheiten, Rezirkulationssystemen, Mini-Umgebungen und Instrumenten
  • Sorgfältige Auswahl der Probeentnahmestellen zur Ursachenanalyse, wenn ein höheres Verschmutzungsniveau entdeckt wird
  • Wahl der richtigen Probeentnahmemethode
  • Bewertung von Reinigungsmaßnahmen (chemische Filter)
  • Beurteilung entsprechend aktuellen internationalen Technologie- und Kundenspezifikationen.

Qualitätskontrolle gasförmiger Medien

Reine Gase werden in vielen Produktionsprozessen der Halbleiter-, LED-, Flachbildschirm- und optischen Industrie genutzt. Sie werden als Reinigungsgase für die Bereinigung und das Setup inerter Atmosphären, als Verdünnungs- und Trägergas, Reaktionsgase und in pneumatischen Antrieben eingesetzt. Die meisten Prozesse erfordern reine oder ultrareine Qualität.

Zur Vermeidung katastrophaler Auswirkungen auf die Produktqualität und den Prozessablauf sollten hochreine Gase kontinuierlich analysiert und überwacht werden.

Daher bieten wir Folgendes an:

  • Analyse sauberer Trockenluft (CDA), N2, He, Ar, CO2 und andere
  • Hochentwickelte Probenahmeverfahren zur Handhabung von Druck und Fluss
  • Probenahme von Säuren und Basen durch die Gaswaschflaschen-Methode für eine Ionenaustauschchromatographie (IC) und Massenspektrometrie (ICP-MS)
  • Probenahme organischer Verbindungen und Feuerfestmaterialien durch Entnahme mit Adsorptionsmaterialien (z. B. Tenax, CarboTrap) und TD-GC/MS-Analyse