Material- und Produkttests

  • Reinraumtechnologien & Kontrollierte Umgebungen
Mikroemissionskammer für Materialien
Mirkroemissionskammer für Adsorptionsröhrchen
Materialien für die Ausgasungstests
Logo von Cleanrooms Suitable Materials
Durchführung einer GC_MS Analyse

Vorqualifizierung von Material
Die Verringerung aller Arten von Luftverunreinigungen sind das wichtigste Ziel bei der Herstellung verunreinigungsempfindlicher Produkte wie Wafer, Optik oder Laser und in Prozessen wie die Lithographie mit extrem ultravioletter Strahlung (EUV).

Die Ausgasung von Materialien und Geräten für die Reinraumausrüstung (z. B. Baumaterialien, Bodenbeläge, Dichtungsmasse, Installations- und Verbrauchsmaterialien) ist die Hauptverunreinigungsquelle für flüchtige organische Verbindungen.  Die Analyse des Ausgasverhaltens der in Reinräumen verwendeten Materialien ist ein erster wichtiger Schritt zur Verringerung potenzieller Emission gasförmiger Verunreinigungen (AMC) und zur Verbesserung der Luftqualität von Innenräumen.

Rubén López Trigo
Head of Trace Analysis

Phone: +49 711 8804-1727

Mobil: +49 152 54749991

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ruben.lopez-trigo@exyte.net

Die Konzentration luftgetragener molekularer Verunreinigungen ist ein bedeutender Reinheitsfaktor und hat signifikante Auswirkungen auf den Produktionsprozess und die Produktqualität. Vor allem die größten VOC- und Ammoniakemittenten sind von grundlegender Bedeutung. Wir sind Mitglied des Netzwerks Cleanroom Suitable Materials (CSM) und arbeiten daher gemäß den CSM-Leitlinien und Standards für reinraumtaugliche Materialien.

Unsere Verfahren für AMC-Messungen und -Bewertungen umfassen:

  • Ausgasungstests für organische Verbindungen (VOC+SVOC) gemäß den Exyte Technology-Leitlinien und dem Standard VDI 2083-17
  • Bewertung entsprechend der Exyte Technology-Annahmekriterien für Reinraume und Mini-Umgebungen
  • Festlegung der materialspezifischen, standardisierten ISO-AMCm-Klasse und der ISO-AMCCR-Klasse für tatsächliche Reinräume
  • Analyse durch thermische Desorption (TD)-GC/MS
  • Ausstellung eines Exyte Technology-Zertifikats für getestete Ausrüstungen, Materialien, Komponenten und Produkte

Reinräume spielen nicht nur eine wichtige Rolle in der Halbleiterindustrie, sie sind auch ein wesentlicher Faktor bei der Herstellung von optoelektronischen Produkten (LEDs) und Lasersystemen sowie in Anwendungen wie der Lasermetrologie. Die Ausgasung organischer Verbindungen, insbesondere kondensierbarer Verbindungen, sind als Hauptursache für die Verschlechterung optischer Geräte bekannt.   Organische Verunreinigung kann zu Oberflächentrübung der Optik, Verschlechterung der Beschichtung, Schwächung des Übertragungssignals oder des Lasersignals selbst führen und die Wahrscheinlichkeit von Laserschäden erhöhen.

Eine Quelle für organische Ausgasung können Dichtungen, Leiterplatten, Isolierungen, Reinigungsmittel, Beschichtungen, Harze u. a. sein. Kritische Verbindungen sind Siloxane, aromatische Amine und hochsiedende aromatische Kohlenwasserstoffe wie Phtalate sein.

Die Produkt- und Prozesskontrolle umfasst:

  • Tests von Komponenten und Materialien für die Produktionskontrolle
  • Screening-Analyse organischer Verbindungen durch thermische Desorption
  • Analyse aller flüchtiger organischer Verbindungen
  • Bewertung niedrig-, mäßig und hochsiedender organischer Verbindungen
  • Ausstellung von Exyte Technology-Produktzertifikaten